【產品名稱】:RGH25F直線光柵系統
【產品規格】:RGH25F直線光柵系統
【詳細內容】
開放式、非接觸、超小型RGH25F讀數頭配有雷尼紹獨特靈活的20 μm RGS20-S鋼帶柵尺并具有5 nm的分辨率。RGH25F輕薄小巧,具有通過REF接口進行外部細分的功能,該功能可提供自動增益控制、偏移量控制和診斷能力……
符合RoHS標準的REF接口取代了RGB系列,具有高端SiGNUM?的性能和5 nm的分辨率。請注意:RGH25讀數頭和RGB接口目前已停產并由RGH25F和REF取代。
RGH25F讀數頭的特性與優點
超小型、低質量讀數頭非常適合在空間有限的場合應用
非接觸式設計提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
接口上的內置LED安裝指示燈使讀數頭便于安裝
光學濾波系統在大多數開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優異的信號穩定性
自調節電路可確保高精度和長期工作的可靠性
自動增益控制 (AGC)、自動偏移量控制 (AOC) 和自動平衡控制 (ABC) 極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
參考零位提供可重復的起始位置,而限位開關則指示軸行程的終點
也可提供UHV兼容版本
RGS20-S 20 μm柵距鋼帶柵尺
20 μm RGS20-S由薄型柔性鋼帶制成;鋼帶經過鍍金具有更高的反射率和耐腐蝕性??梢允褂帽趁孀詭У牟桓赡z將其安裝到金屬、陶瓷和合成材料等大多數工程材料上。
柵尺成卷供貨,用戶可根據需要任意裁剪,可滿足長達70 m的軸長需要
RGS-S柵尺的膨脹特性與基體材料(和柵尺粘貼)的膨脹特性一致,從而簡化了系統的熱補償
具有專利的柵尺安裝工具有助于實現快速精確的安裝
表面涂漆的柵尺易于清潔且堅固耐用
可方便地“剪至所需長度”,確保了不必要的浪費和高效的庫存管理
±3 μm/m線性度通過簡單的補償就可實現高精度
技術規格
讀數頭尺寸 | 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (H x L x W) |
輸出(分辨率) | RS422:5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。 模擬:1 Vpp |
細分 | REF(x4至x4 000) |
參考零位 | 勵磁塊 |
限位開關 | 單限位 |
最高速度 | 5 m/s |
間隙公差 | 0.8 ±0.1 mm |
柵尺類型 | RGS20-S鋼帶柵尺 |
真空兼容 | 是 — RGH25F UHV |
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